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两种不同结构聚酰亚胺的钝化工艺流程不同,使用非光敏聚酰亚胺钝化的工艺流程一般为预处理→涂覆→涂光刻胶→光刻→刻蚀→去胶→固化。非光敏聚酰亚胺的光刻工艺非常复杂,也增加了整个钝化工艺的难度和可靠性,同时制作成本较高。