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聚酰亚胺是高压IGBT芯片表面钝化工艺的重要材料。聚酰亚胺耐高温,绝缘性能良好,工艺简单,化学性质稳定,台阶覆盖好,与铝的热匹配性好,广泛应用于高压芯片外层表面钝化,但其抗潮、抗离子玷污能力不够强,需与无机钝化结构搭配使用。根据不同结构对光的敏感程度不同,聚酰亚胺又可以分为非光敏聚酰亚胺和光敏聚酰亚胺。